Исследование дефектов структуры монокристаллического карбида кремния прямыми физическими методами : монография

Только для организаций
Автор: 
Окунев А. О., Ткаль В. А., Данильчук Л. Н.
Год: 
2006
Издательство: 
НовГУ им. Ярослава Мудрого
ISSN/ISBN: 
хххх
ББК: 
22.37
В монографии рассматриваются особенности экспериментальных изображений дефектов структуры монокристаллического карбида кремния, полученных прямыми и неразрушающими физическими методами рентгеновской топографии и поляризационно-оптического анализа, а также приводятся результаты проведѐнных исследований этого материала. Проводится сравнение информативности различных методов при исследовании карбида кремния и обзор возможностей цифровой обработки экспериментальных изображений дефектов структуры. Предназначено для научных работников, инженеров, преподавателей и студентов, специализирующихся в области физического материаловедения, кристаллофизики и технологии материалов и приборов электронной техники.