В пособии представлена информация, необходимая для знакомства студентов с технологией моделирования субмикронных МДП-транзисторов в системе приборно-технологической САПР TCAD Sentaurus. В нем дан анализ понятия приборно-технического моделирования и сделан обзор возможностей программного комплекса Synopsys TCAD. Описаны особенности конструкции субмикронных структур и физические модели переноса заряда в полупроводниках. Реализован смешанный режим моделирования для расчета электрических характеристик инвертора. Учебное пособие предназначено для методического обеспечения дисциплин «Основы проектирования и технологии электронной компонентной базы», «Элементная база СБИС», «Математическое моделирование устройств и систем», «САПР в электронике», «Проектирование и технология электронной компонентной базы», а также для выполнения выпускных работ по направлению 11.03.04 – «Электроника и наноэлектроника» и магистерских работ по направлению 11.04.04 – «Электроника и наноэлектроника».