Учебное пособие предназначено для студентов 4-го курса очной формы обучения по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Со-держание учебного пособия направлено на формирование компетентности студентов в области анализа явлений на поверхности полупроводников, гра-ницах раздела полупроводник–диэлектрик и диэлектрических пленках и формирование научной основы для создания элементов, приборов и уст-ройств микро- и наноэлектроники.