Исследование дефектов структуры монокристаллического карбида кремния прямыми физическими методами : монография

Исследование дефектов структуры монокристаллического карбида кремния прямыми физическими методами : монография

Автор
Окунев А. О., Ткаль В. А., Данильчук Л. Н.
Год
2006
Издательство
НовГУ им. Ярослава Мудрого
ISBN
хххх
ББК
22.37
Относится к ВУЗу(ам)
Новгородский государственный университет им. Яр. Мудрого
Основной раздел каталога
Учебная литература

В монографии рассматриваются особенности экспериментальных изображений дефектов структуры монокристаллического карбида кремния, полученных прямыми и неразрушающими физическими методами рентгеновской топографии и поляризационно-оптического анализа, а также приводятся результаты проведѐнных исследований этого материала. Проводится сравнение информативности различных методов при исследовании карбида кремния и обзор возможностей цифровой обработки экспериментальных изображений дефектов структуры. Предназначено для научных работников, инженеров, преподавателей и студентов, специализирующихся в области физического материаловедения, кристаллофизики и технологии материалов и приборов электронной техники.