Определены цель и задачи, а также представлены требования к оформлению материалов по курсовой работе по дисциплине «Физическая химия материалов и процессов электронной техники». В пособии также изложены некоторые представления о моделях процессов кристаллизационной очистки полупроводниковых материалов, теория диффузи примесей в твердом теле и информация по теории ионного легирования. Изложенный теоретический материал сопровождается подробными примерами. Приводятся необходимые для расчетов справочные материалы и рекомендации по методике вычислений. Учебное пособие может быть использовано также при выполнении курсовых работ по дисциплинам «Технология материалов электронной техники», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Математическое моделирование технологических процессов, полупроводниковых приборов и интегральных схем».